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2001年6月 成立國泰半導體材料有限公司。
2014年11月 國泰半導體材料有限公司由中外合資企業變更為內資企業,北京有色金屬研究總院為單一股東。
2014年12月 原有研硅股將硅板塊全部資產出售給北京有色金屬研究總院。北京有色金屬研究總院將硅板塊全部資產注入國泰半導體材料有限公司。
2015年1月 國泰半導體材料有限公司更名為有研半導體材料有限公司。
2017年11月 有研科技集團有限公司與日本株式會社RS Technologies、福建倉元投資有限公司簽署合資合同,以持有的有研半導體100%股權出資,成立合資公司北京有研艾斯半導體科技有限公司。
2018年1月 北京有研艾斯半導體科技有限公司完成工商登記,有研半導體成為北京有研艾斯半導體科技有限公司的全資子公司,完成了混合所有制改革,由國有獨資公司變更為混合所有制公司。
2018年8月 成立控股子公司山東有研半導體材料有限公司。
2020年3月 成立控股子公司有研艾唯特(北京)科技有限公司,拓展高潔凈閥門產品中國市場。
2021年5月 整體變更為股份有限公司
2021年6月 引進戰略投資者中信證券投資有限公司、中電科研投基金、深圳諾河投資合伙企業(有限合伙)
2021年6月 公司參股山東有研艾斯半導體材料有限公司
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